涡旋干泵，又称为干式涡旋泵或干式真空泵，是一种能在大气压到10-2Pa的压力范围内工作的设备。它采用涡旋定子和转子的运动来排气，其内部两个具有相同形状的涡旋略微偏离中心，彼此接触相对方向运动，被bu获在新月形空间中的气体被压向中心并从中心的孔中排出。这种设计使得涡旋干泵具有低振动和低噪音的特点，并且其ji限压力可以达到1Pa。

涡旋干泵的优势：

1. 无油操作：涡旋干泵提供干燥无油的真空环境，对于那些需要干净或无油污染的应用非常适合。

2. 维护成本低：由于操作无需油液，所以维护和清洁方便，节省了更换油液和处理含油废物的费用。

3. 环保：排放的气体不含有油蒸气，是绿色环保的选择。

4. 抗化学品性：很多涡旋干泵设计有很好的抗化学品和腐蚀性气体的能力。

5. 工作范围宽：可在广泛的压力范围内工作。

6. 可靠性高：结构简单，无需油液润滑的部件，因此可靠性较高。